Typpitrifluoridi (NF3) Erittäin puhdas kaasu
Perustiedot
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Mitä tämä materiaali on?
Typpitrifluoridi (NF3) on väritön ja hajuton kaasu huoneenlämpötilassa ja ilmanpaineessa. Se voidaan nesteyttää kohtuullisessa paineessa. NF3 on stabiili normaaleissa olosuhteissa eikä hajoa helposti. Se voi kuitenkin hajota joutuessaan alttiiksi korkeille lämpötiloille tai tiettyjen katalyyttien läsnäollessa. NF3:lla on korkea ilmaston lämpenemispotentiaali (GWP), kun se päästetään ilmakehään.
Missä tätä materiaalia käytetään?
Puhdistusaine elektroniikkateollisuudessa: NF3:a käytetään laajalti puhdistusaineena jäämien epäpuhtauksien, kuten oksidien, poistamiseen puolijohteiden, plasmanäyttöpaneeleiden (PDP) ja muiden elektronisten komponenttien pinnoilta. Se voi puhdistaa nämä pinnat tehokkaasti vahingoittamatta niitä.
Syövytyskaasu puolijohteiden valmistuksessa: NF3:a käytetään etsauskaasuna puolijohteiden valmistusprosessissa. Se on erityisen tehokas piidioksidin (SiO2) ja piinitridin (Si3N4) syövytyksessä, jotka ovat tavallisia materiaaleja integroitujen piirien valmistuksessa.
Erittäin puhtaiden fluoriyhdisteiden valmistus: NF3 on arvokas fluorin lähde erilaisten fluoria sisältävien yhdisteiden valmistuksessa. Sitä käytetään esiasteena fluoripolymeerien, fluorihiilivetyjen ja erikoiskemikaalien tuotannossa.
Plasmantuotanto litteiden näyttöjen valmistuksessa: NF3:a käytetään yhdessä muiden kaasujen kanssa plasman luomiseen litteiden näyttöjen, kuten nestekidenäyttöjen (LCD) ja PDP:iden, tuotannossa. Plasma on välttämätön saostus- ja syövytysprosesseissa paneelien valmistuksen aikana.
Huomaa, että tämän materiaalin/tuotteen käyttöä koskevat erityiset sovellukset ja määräykset voivat vaihdella maan, toimialan ja käyttötarkoituksen mukaan. Noudata aina turvallisuusohjeita ja keskustele asiantuntijan kanssa ennen kuin käytät tätä materiaalia/tuotetta missä tahansa sovelluksessa.
